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电子洁净厂房在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。打造一个合格的电子洁净厂房，科学合理的设计方案是基础，优质的施工是必要条件。合理安排，科学管控，有序进行的电子净化车间施工，才能保证工程成功交付，以达到预期设计目标。以普通电子洁净厂房为例，施工安装大致分为风管安装、消声隔振、设备安装、照明、配电、冷冻站配置和其他安装工程等。一、消声隔振1) 通风机、空调机组、冷水机组、水泵均设隔震垫;2) 水泵及冷水机组进出口处应安装可曲绕柔性接头。二、风管安装1) 风管采用优质镀锌钢板制作安装，风管边长≤900时不应有拼接缝，>900时应尽量减少纵向拼接缝，不得有横向拼接缝，各种咬口处、拼接处、铆接处必须涂封胶或贴密封胶带。2) 风管采用法兰连接，法兰间填充5毫米闭孔橡塑海绵密封垫，法兰与风管连接采用实铆钉连接，所有净化风管法兰、螺栓、螺母、垫圈和铆钉均应做镀锌处理。3) 所有水平或垂直的风管必须设置必要的支、吊或托架，风管长边≤1000毫米的吊架间距定位不超过3.5米，风管长边1000～2500毫米的吊架间距不超过2.5米。4) 空调机组送回风总管和新风管及需要设置的部位应设风量测定孔，具体位置由现场确定。5) 净化风管制作完毕后必须进行清洗后方可安装，安装完毕后须进行漏光测试。6) 空调系统的送回风管道及其配件均需保温，保温材料为PEF保温板，厚度为20毫米。7) 水管防腐，冷水系统的焊接钢管、膨胀水箱应表面铁锈、焊渣、毛刺、油污等，并在系统试压合格后刷一层防锈漆。8) 水管保温，冷水管及冷凝水管均采用PEF保温材料。9) 冷水系统的清洗与打压试验，冷水管道与空调设备连接前，必须反复冲洗、排污，管道系统安装完工后，应进行水压试验，试压压力为1.5倍的工作压力，压力试验升至试验压力后，稳压10分钟，压力下降不得大于0.02Mpa，外观检查无渗漏为合格。三、设备安装设备基础带设备到货核实尺寸后再施工，设置安装调试须按生产厂家的规定和有关规程执行。四、照明、配电电子洁净厂房(1万级)用明装净室带罩防尘灯40WX2。工作区照度>250Lux, 走道照度>100Lux,有精细加工操作区域可采用局部照明。布线按规范执行，用穿线钢管暗敷，符合防火及用电规范。所有管线穿过洁净区域均做好密封，线管线槽的内孔(内槽)应全密封。进入净房的气管、水管也须做密封，能设置在顶棚上走的管道，设置在顶棚上，使车间整洁干净。五、冷冻站配置冷主机：按照甲方要求，将空调系统分区1个，则空调主机设计为1台，采用风冷恒温恒湿型空调机，风量：12000m /h，冷量34KW，热量36KW。冷源容量配置方案：洁净车间设计冷负荷34KW，采用风冷恒温恒湿型空调机15匹，制冷量为34KW，满足要求。方案综合考虑空调系统实际运行的特点，不但有足够的装机容量，又能保证洁净厂房连续、可靠运行，而且一次投资节约及运行经济。风管及保温：净化空调系统风道采用优质镀锌板制作，并按规范进行密封处理。除新风及排风管道外，所有风管均需保温。保温材料用优质铝箔玻璃棉毡/玻璃棉管：厚度40mm，24K，其导热系数：0.03kcal/mh℃以下，冷水管：50mm/56K保温棉。六、其他1) 空调器的技术参数与材质要求参考空调器构件性能表和订货合同;2) 安装单位应与土建单位密切配合预留风、水管穿墙及楼板洞，风、水管和风口的安装应与装修密切配合;3) 其他未说明处应严格执行《通风与空调工程施工及验收规范》(GB50243---2002)及《洁净室施工及验收规范》(JGJ71--90)的相关标准和规定。因篇幅问题，仅供参考，希望对您有所助，具体详细方案可访问我们合洁科技电子净化工程的网站进一步了解，我们会为您持续讲解洁净工程施工流程，介绍洁净工程各项要求以及解读各类电子洁净车间标准。手术室
1.如何描述无尘车间清洁度的水平材料研讨会净化项目?今天，让我们看看它的气体清洁度。集成电路芯片工作环境中指定的气体清洁度水平取决于集成电路芯片的处理速度。不同的技术气体清洁水平取决于环境污染的机会和组件的潜在常见断层。2.例如，无尘车间在集成电路芯片制造的光学技术链路中，单晶硅晶片暴露于自然的生产中。当环境污染的可能性很高时，零件的废物速率将相对较高。类损坏，目前在超大综合电路芯片的工业工厂中选择微环境，以清理，保护生产过程中心城市，并在微环境危害中达到气体清洁度和环境控制要求。在标准ISO14644-4中，B(参考)引入了“微电子技术纯化室示例”。3.无尘车间桌子上办公区域的公共生产和加工的核心区域是一个人和/或自我溶解设备生产芯片的区域。为了确保工作的区域区域没有环境污染，通常会选择一个道路流或微环境来保护人和暴露的商品。公共设施区域是插座的一部分，没有设置芯片生产线的操作员。该区域的运作通常不暴露于自然的生产。办公区通常靠近公共设施。高速服务区域是没有产品和生产线设备的区域，通常靠近工作区和公共设施区域。4.①在实施的设计条件之前，应详细说明ISO拥有的水平。②表面层中的旋风类型表示纯化室的气体特性：u=一个-路流;n，非一条路流;M=混合流形式(U和N的混合物)。③平均旋风速率通常适用于房间中的单向流。单侧旋风速度需要在测量区域的形状下加热的温度。单侧流速不指浊度的正风。④非边缘流量和混合流量在一小时内使用自然通风的频率。使用适用于建筑物高度3.M的无尘房间的系数排放空气量建议值。⑤注意严格的密封对策。⑥硒或旋风天然屏障适用于合理的污染物分离和治疗自然保护区。5.实际上，在此阶段，全球所有的综合电路制造企业。生产者根据产品类型进行处理。选择了生产过程的技术。生产线设备。原材料采购和制造无尘车间的社会经验和经济发展证实，综合电路清洁厂(房屋)的过程(房屋)需要空气清洁。等级。根据统计数据，集成电路制造企业。制造商在计划和建造集成电路芯片车间净化项目时选择空气清洁水平。净化室的木板和空间规划。空气净化设备。净化室建筑物和其他技术规格。独特的工程措施。每个都有。不同的。手术室
为了使洁净间内保持所需要的温度湿度、风速、压力和洁净度等参数，常用的方法是向室内不断送入一定量经过处理的空气，以洁净室内外各种热湿干扰及尘埃污染。为获得送入洁净室具有一定状态的空气，就需要一整套设备对空气进行处理，并不断送入室内，又不断从室内排出一部分来，这一整套设备就构成了洁净空调系统。基本构成洁净间空调系统基本由下列设备构成1、加热或冷却、加湿或去湿以及净化设备;2、将处理后的空气送入各洁净室并使之循环的空气输送设备及其管路;3、向系统提供热量、冷量、热源、冷源及其管路系统。洁净间空调分类洁净间空调系统一般分为三大类：1、集中式洁净空调系统：在系统内单个或多个洁净室所需的净化空调设备都集中在机房内，用送风管道将洁净空气配给各个洁净室。2、分散式洁净空调系统：在系统内各个洁净间单独设置净化设备或净化空调设备。3、半集中式洁净空调系统：在这种系统中，既有集中的净化空调机房，又有分散在各洁净室内的空气处理设备。是一种集中处理和局部处理相结合的形式。人们一般按系统内各洁净室的洁净度来命名系统，如称之为100级净化空调系统，1000级净化空调系统等。有时也按系统的末级过滤器的性质来区分，分空气净化系统，亚空气净化系统和中效空气净化系统。集中式洁净空调系统集中式洁净空调系统主要有如下特点1、在机房内对空气集中处理，进而送进各个洁净室。2、由于设备集中于机房，对噪声和振动较容易处理。3、一个系统控制多个洁净室，要求各洁净室同时使用系数高。4、集中处理后的洁净空气送入各洁净室，以不同的换气次数和气流形式来实现各洁净室内不同的洁净度。集中式洁净空调系统适用于工艺生产连续、洁净室面积较大、位置集中，噪声和振动控制要求严格的洁净厂房。一般有如下三种形式：1、直流式：系统所处理的空气全部来自室外，处理后送入室内，然后又全部排出室外。该系统方式冷、热量消耗，工程投资和运行费用较高，当洁净室内散发大量的有害气体，而局部排风不能解决时，采用该方式。2、封闭式：该系统所处理的空气全部来自空调房间本身，循环往复。当洁净室内无人长期逗留，仅仅为存放或为保证精密仪器正常运行，或一些无需从外界获得新鲜空气的特殊场合，可以采用封闭式系统。封闭式系统没有室外新风，系统消耗冷、热量少，但卫生条件差。3.混合式：该系统不仅吸取一部分室外新风，而且还利用一部分回风，根据回风形式，有一次回风系统和二次回风系统。这种系统既能满足卫生要求，又经济合理，应用为广泛。分散式洁净空调系统对于一些生产工艺单一，洁净室分散，不能或不宜合为一个系统，或各个洁净间无法布置输送系统和机房等场合，应采用分散式洁净空调系统，在该系统中把机房、输送系统和洁净室结合在一起，自成系统。在分散式洁净空调系统中，在各个洁净间或邻室内就地安装净化和空调设备或净化空调设备。净化空调设备可以是一个定型机组产品，它具有净化功能，但处理的风量较少，往往不能满足较高洁净度的洁净室所需风量，系统处理过程往往是一次回风系统。由于净化空调设备内风机要求克服热交换盘管、通道及几级过滤器的阻力，所需压力很高。为了安装于设备内，体积不可能很大;如采用较高转数来达到所需压力，噪声震动又较大。国内设备状况，这类机组发展较慢。众所周知，洁净间内除了一些必要设备外，尽可能把设备设置在室外，加上人员人数严格控制等，洁净室的热湿负荷通常比普通空调室小，但需风量却比一般空调室大，这就从另一个角度限制了净化空调设备的使用范围。为了解决这一题，正分散式净化空调系统中，可以将风机一过滤器单元等局部净化设备放在洁净室内，或设置于邻室、套间，顶棚内等处而与洁净室相联，或利用邻室、套间，顶棚等作静压箱，并在内设置普通空调机组，以作混风和空调处理用。它的处理过程可看作二次回风。空调机组实际上是一个小型空调系统，它的冷源通常采用压缩式制冷机组，热源在容量不大和要求灵活性大时可采用电热。空气处理设备主要是制冷机的蒸发器，电加湿器及电加热器。当洁净室温度，湿度全年的控制精度要求较高，可采用恒温恒湿机组.它能自动调节空气温温度，以维持室内一定温度，湿度。当洁净室仅要求夏季舒适性空调，即仅在夏季降温去湿，可采用冷风机组。它与恒温恒温机组主要区别在于没有自动控制(采用手动控制)，电加湿器和电加热器。上述这种将空调和净化两种功能分开处理的作法，不仅解决洁净室热湿负荷小、处理风量大的难题，而且使系统更为灵活。由于利用套间或顶棚作静压箱，使空气环路断面大-输送路线短，对空调机组和净化设备的风机压头要求不高，因此相应噪声与能耗也不高.净化设备也可适应洁净室需要，采用多种形式，与空调机组几乎没有关联.这种形式在我国应用很广泛。但是这种系统的新风往往只是靠套间或顶棚等产生负压而渗透进来，不能有效控制，无法满足室内卫生要求。洁净空间内可通过送风量差值控制来建立正压，但在套间中的负压并不一定使室外新风通过新风过滤器进入套间，往往透过其他途经(从走廊及窗等)渗入，套间内浓度很不稳定.这样不仅会影响过滤器使用期，而且也可能涉及到洁净空间内的洁净度，这是一个易被人忽视的问题。像上海城市建设学院的多功能洁净间，就在套间中增设了亚新风净化机组。由于它配有可调风量风机，不仅可使套间内保持正压，稳定套间内空气浓度;而且保全分散式净化空调系统的特点就是灵活、简易。它可满足不同房间的不同送风要求。当室内热湿负荷变化时，调节系统反应快，也不影响其他各室进风参数，洁净空间小而单一，管理比较方便，洁净度也易保证。加上没有输送管系及专用机房，节约了输送能耗及沿途冷热损失和污染，减少了辅助占地面积。另外空调机组体积小，现场安装工作量少，操作使用也方便，不需要专门熟练操作工人。半集中式洁净空调系统半集中式洁净空调系统，是一种把空气集中处理和局部处理结合的系统形式，它既有象分散式系统那样，各洁净室能就地回风而避免往返输送，又有象集中式系统那样按需要供给各洁净室经空调处理到一定状态的新风，有利于洁净空气参数的控制。随着生产工艺的发展，人们对洁净室要求也不同了。人们希望在一个洁净间内实现不同洁净度分区控制。因此，出现了半集中式洁净空调系统，半洁净式空调系统主要有两种使用形式，现分别介绍如下：(一)、具有热、湿处理能力的末端装置：当洁净室为下列情况时，可考虑采用具有热、湿处理能力的末端装置的半集中式洁净空调系统1、当系统的洁净室内热、湿负荷较大;2、各洁净室间负荷差异较大;3、或各洁净室使用时间不一;4、或各洁净室间避免互相污染。由于室内机组具有热、湿处理能力，室内温度湿度可根据要求调节机组(即末端装置)。例如，在医院中使用该系统，可以避免各手术室之间的交叉感染，满足各自不同的无菌要求。手术室内的温湿度，视手术性质、医生要求和病人感觉自行调节末端装置，但是这样的空调系统控制精度不高，而且温度场湿度场以及浓度场均匀性也较差。对于较大型的末端装置，也可将一次风直接送入风机盘管内，它与回风混合后经盘管进入室内。由于室内只有一个送风口，避免了一次风对末端装置局部平行流区域的干扰。(二)、单纯净化作用的末端装置具有单纯净化作用的末端装置系统，在半集中洁净空调系统中应用多。大多数改建工程都采用这种形式。当对原有普通空调系统进行净化改造时，在原空调系统内增设过滤设备，如可在送风管的适当位置增设过滤箱、在各室送风口增设过滤器，或更换原系统过滤器等，这样就形成了单纯净化作用的末端装置系统。末端装置在室内起自循环、自净化作用，对室内洁净度是一种辅助手段。当调节末端装置的风量或改变开启末端装置台数时，可使室内实现不同的洁净度。
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